9.3.4. Сканирующая микроскопия ближней оптической зоны

В этом методе, называемом также ближнепольной оптической мик- роскопией, в качестве зонда используется световой волновод (стеклово- локно), сужающийся на конце, обращенном к исследуемому образцу.

Минимальный диаметр кончика световолокна конца волновода (с диаметром меньше длины волны светового излучения) должен быть меньше длины волны светового излучения. В этих условиях световая волна не выходит из волновода на большое расстояние, а лишь слегка «выглядывает» из его кончика. На другом конце волновода располага- ются лазер и чувствительный фотоприемник отраженного от свободно- го торца волновода света. С учетом малого расстояния между исследуе- мой поверхностью и кончиком зонда сигналом, используемым для по- строения трехмерного изображения поверхности, являются амплитуда и фаза отраженной световой волны.

Метод позволяет достигать разрешения до 10 нм. В ряде приборов самого последнего поколения с использованием нанотехнологий лазер и фотоприемник стали располагать на кончике иглы атомно-силового микроскопа, что позволяет объединять возможности обоих методов.

Контрольные вопросы

1. На чем основан растровый микроскопический анализ? 2. В чем различие вторичных электронов (ВЭ) и отраженных элек-

тронов (ОЭ)? 3. Разрешающая способность микроскопического анализа. Как подго-

тавливаются образцы для анализа? 4. Каковы области практического применения, достоинства и недо-

статки микроскопического анализа? 5. Какое явление лежит в основе ультрамикроскопии?

299

6. Какие приборы применяют для получения изображения рельефа поверхности твердого тела?

7. Какие материалы можно исследовать методом сканирующей тун- нельной микроскопии?

8. Какие физические принципы лежат в основе работы метода СТМ? 9. Назовите основные компоненты сканирующего туннельного мик-

роскопа и их назначение. 10. Какое явление лежит в основе работы сканеров? 11. Что такое «режим постоянного тока»? 12. Что такое «режим постоянной высоты (зонда)»? 13. Какая информация может быть получена с использованием метода

СТМ? 14. Какие требования предъявляются к СТМ-зондам? 15. Назовите факторы, определяющие качество СТМ-изображений, по-

лучаемых в эксперименте? 16. Какие образцы могут быть исследованы методом СТМ? (требова-

ния к образцам.) 17. Какую информацию позволяет получить метод СТС? 18. Какие типы сигналов возникают при взаимодействии пучка элек-

тронов с исследуемой поверхностью в растровом микроскопе? 19. Как происходит перевод изображения с ЭЛТ микроскопа в цифро-

вую форму? 20. Как формируется изображение объекта в просвечивающем элек-

тронном микроскопе? 21. Чем обусловлен контраст изображения поверхности образца при

его исследовании методом РЭМ? 22. Каким образом происходит процесс сканирования и построения

изображения в растровом электронном микроскопе? 23. Какое физическое явление используется в микроскопии ближнего

поля? Опишите, что происходит при прохождении света через суб- волновое отверстие.

24. Какие эффекты происходят при сближении зонда и образца? 25. Какое строение имеет зонд в ближнепольной микроскопии? 26. Основные принципы СЗМ. 27. Основные узлы СЗМ: пьезосканеры, зонды, система обратной свя-

зи. 28. Классификация и общая характеристика методов зондовой микро-

скопии. 29. Атомно-силовая (сканирующая силовая) микроскопия – общие

принципы. 30. Кантилеверы, взаимодействие зонда с поверхностью.

300

31. Общая характеристика магнитно-силовой микроскопии. 32. Ближнепольная оптическая микроскопии.

Тестовые вопросы к главе 9

1. Какая линза ПЭМ формирует конечное изображение объекта? a) объективная линза; b) промежуточная линза; c) конденсаторная линза; d) проекционная линза.

2. Чем регулируется изменение фокусного расстояния в ПЭМ?

a) изменением тока в магнитных катушках; b) напряжением на катоде; c) величиной магнитного поля; d) положением линз.

3. На чем основан бесконтактный режим работы СЗМ?

a) сила Ньютона; b) закон Вульфа-Брегга; c) закон Лоуренса; d) использовании сил Ван-дер-Ваальса.

4. Что представляет собой кантилевер АСМ?

a) проволока; b) конус; c) цилиндр; d) тонкая пластинка.

5. Скорость сканирования в методе постоянного тока ограничивается:

a) плотностью электронных состояний на поверхности образца; b) электрической проводимостью образца; c) использованием системы обратной связи; d) величиной туннельного тока.

6. Как туннельный ток зависит от расстояния зонд–образец?

a) экспоненциально; b) не зависит; c) линейно; d) логарифмически.

301

7. Контактная емкостная микроскопия основана: a) на изменении реакции зонда над поверхностью образца при

приложении различных напряжений; b) постоянном контакте кантилевера с поверхностью; c) использовании постоянного напряжения смещения; d) применении полупроводников в качестве материала канттиле-

вера. 8. Разрешающая способность микроскопа определяется:

a) площадью сечения или диаметром зонда; b) контрастом, создаваемым образцом и детекторной системой; c) областью генерации сигнала в образце; d) всем вышеперечисленным.

9. Стигматор – это:

a) система, корректирующая магнитное поле линзы; b) полюсный наконечник линзы; c) пара электромагнитных отклоняющих катушек; d) электронный зонд.

10. Протяжѐнность области генерации отражѐнных электронов возрас-

тает: a) при увеличении среднего атомного номера элементов образца; b) увеличении ускоряющего напряжения; c) увеличении угла между образцом и осью зонда; d) всѐ вышеперечисленное.

11. В процессе рентгеноспектрального микроанализа определяется:

a) элементный состав образца; b) магнитные свойства образца; c) рельеф поверхности образца; d) радиоактивность образца.

12. Характеристическое рентгеновское излучение обусловлено:

a) торможением первичных электронов электрическим полем атомов;

b) столкновением первичных электронов с электронами атомов; c) переходами электронов между энергетическими уровнями

атомов; d) всем вышеперечисленным.

302

13. Какой материал чаще всего применяют при напылении на поверх- ность шлифа неэлектропроводящих объектов? a) алюминий; b) серебро; c) углерод; d) золото.

14. Рентгеноспектральный микроанализ главным образом используется

для анализа: a) композиционных материалов; b) органических материалов; c) металлов; d) всего вышеперечисленного.

15. Для исследования прозрачных и бесцветных объектов применяют:

a) метод фазового контраста; b) поляризационную микроскопию; c) метод светлого поля в отражѐнном свете; d) метод тѐмного поля в проходящем свете.

303

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. Григоров И.Г, Пахолков В.В., Зайнулин Ю.Г. Патент России №2015567 от 30.06.94, Б.И. № 12, 1994.

2. Головин Ю.И. Введение в нанотехнологию / Ю.И. Головин – М.: Изд-во «Машиностроение», 2003. – 112 с.

3. Новые материалы / под ред. Ю.С. Карабасова – М.: МИСИС, 2002 – 736 с.

4. http://bio.fizteh.ru/student/files/fizmetody 5. Kebarle P. Ion –molecule equilibria, how and why//J. Amer. Soc. Mass

Spectrometry. – 1992. – V. 3. – N 1. – P. 1. 6. Massa W. Crystal Structure Determination / W. Massa. – Berlin:

Springer, 2000. 7. Кнотько А.В., Пресняков И.А., Третьяков Ю.Ф. Химия твердого

тела – Изд. центр «Академия», 2006. 8. Лебедев А.Т. Масс-спектрометрия в органической химии. – М.:

БИНОМ. Лаборатория знаний, 2003. 9. Андриевский Р.А., Рагуля А.В. Наноструктурные материалы. – М.:

Издательский центр «Академия», 2005. – 117 с. 10. Андриевский, Р.А. Наноструктурные материалы / Р.А. Андриев-

ский. − М.: Академия, 2005. − 178 с. 11. Басалаев, Ю.М. Методы исследования структуры твердых тел /

Ю.М. Басалаев, В.Г. Додонов, А.С. Поплавной. – Томск: Изд-во ТГПУ, 2008 – 136 с.

12. Васильев, В.П. Аналитическая химия. В 2-х кн. Кн. 2. Физико- химические методы анализа / В.П. Васильев, 2005. – 383 с.

13. Вольпин М.Е. Фуллерены – новая форма углерода // Вестник РАН. – 1992. – № 10. – С. 25.

14. Гмурман В.Е. Теория вероятностей и математическая статистика. – М.: Высшая школа, 2002.

15. Горелик С.С., Дашевский М.Я. Материаловедение полупроводни- ков и диэлектриков. – М.: МИСиС. – 2003.

16. Гусев, А.И. Нанокристаллические материалы − методы получения и свойства / А. И. Гусев. − Екатеринбург: УрО РАН, 1998. − 190 c.

17. Гусев, А.И. Нанокристаллические материалы / А.И. Гусев, А.А. Ремпель. – М.: Физматгиз, 2001. – 134 с.

18. Дероум Э. Современные методы ЯМР для химических исследова- ний / Э. Дероум. – М.: Мир, 1992.

19. Дорохова, Е.Н. Аналитическая химия. Физико-химические методы анализа / Е. Н. Дорохова, Г. В. Прохорова, 1991. – 256 с.

304

20. Дубнищев, Ю.Н. Колебания и волны. – Новосибирск: Сибирское университетское издательство, 2004.

21. Егоров, Ю.Х. Кристаллография / [Ю.Х. Егоров и др.]. – М.: Изд-во МГУ, 1992.

22. Ельяшевич, М.А. Атомная и молекулярная спектроскопия / М.А. Ельяшевич. – М.: Эдиториал УРСС, 2001.

23. Ельяшевич М.А. Атомная и молекулярная спектроскопия. – М.: КомКнига, 2006.

24. Зайцев А.И. Масс-спектрометрический метод исследования термо- динамических свойств веществ // Заводская лаборатория. – 1990. – Т.56 – № 11 – С. 57.

25. Захаров, Ю.А. Химия твердого тела / Ю.А. Захаров, С.М. Рябых, Б.А. Сечкарев – Кемерово: Кузбассвузиздат, 2006. – 144 с.

26. Золотухин, И.В. Новые направления физического материаловеде- ния / И.В. Золотухин, Ю.И. Калинин, О.В. Стогней − Воронеж, 2000. − 360 с.

27. Казенас Е.К. Испарение оксидов / Е.К. Казенас, Ю.В. Цветков. – М.: Наука, 1997.

28. Клаассен К.Б. Основы измерений. Электронные методы и приборы в измерительной технике. – М.: Постмаркет, 2000.

29. Клещев, Д.Г. Влияние среды на фазовые и химические превраще- ния в дисперсных системах / Д.Г. Клещев, А.И. Шейнкман, Р.Н. Плетнев. – Свердловск: УрО АН СССР, 1990. – 248 с.

30. Корольков Д. В. Электронное строение и свойства соединений не- переходных элементов / Д.В. Корольков. – СПб.: Химия, 1992.

31. Костикова, Г.П. Химические процессы при легировании оксидов / Г.П. Костикова, Ю.П. Костиков. – СПб.: Изд-во СПбГУ, 1997.

32. Кузяков, Ю. Я. Методы спектрального анализа / Ю.Я. Кузяков, К.А. Семененко, Н.Б. Зоров, 1990. – 213 с.

33. Люминесцентный анализ / Кемеровский гос. ун-т, 2008. – 89 с. 34. Максимычев, А.В. Физические методы исследования. Погрешности

измерений. – М.: МФТИ, 2006. 35. Максимычев, А.В. Ядерный магнитный резонанс высокого разре-

шения. Лабораторная работа. – М.: МФТИ, 2006. 36. Методы исследования неорганических материалов / Н.В. Борисова,

Э.П. Суровой и др. – Кемерово, 2008. – 181 с. 37. Борисова, Н.В. Методы исследования неорганических материалов

Ч. 2. Оптическая спектроскопия / [Н. В. Борисова [и др.]]. – Кеме- рово, 2008. – 135 с.

38. Миронов, В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. – М: Техносфера, 2004. – 144 с.

305

39. Накамото К. ИК-спектры и спектры КР неорганических и коорди- национных соединений / К. Накамото; пер. с англ. / под ред. Ю.А. Пентина. – М.: Мир, 1991.

40. Невоструев, В.А. Теоретические основы спектральных методов в химии / В.А. Невоструев, 2006. – 70 с.

41. Новицкий, П. В. Оценка погрешностей результатов измерений / П.В. Новицкий, И.А. Зограф. – Л.: Энергоатомиздат, 1991. – 141 c.

42. Новоженов, В.А. Калориметрические методы исследования ве- ществ / В.А. Новоженов. – Барнаул: Изд-во АГУ, 1994. – 96 с.

43. Анциферов, В.Н. Новые материалы / В. Н. Анциферов [и др.]; под ред. Ю. С. Карабасова. − М.: МИСиС, 2002. − 736 с.

44. Основы аналитической химии. В 2-х кн. Кн. 2. Методы химическо- го анализа / Н.В. Алов, Ю.А. Барбалат, А.В. Гармаш и др.; / под ред. Ю. А. Золотова, 2004. – 503 с.

45. Отто, М. Современные методы аналитической химии. Т. 1, 2. – М.: Техносфера, 2004.

46. Оуэнс, Ф. Нанотехнологии. / Ф. Оуэнс, Ч. Пул. – М.: Техносфера, 2005. – 176 с.

47. Пентин Ю.А., Вилков Л.В. Физические методы исследования в хи- мии – М., Мир, 2003.

48. Пилипеико А.Т., Пятницкий И. В. Аналитическая химия. Т. 1, 2. – М.: Химия, 1990.

49. Попов В.П. Основы теории цепей – М.: Высшая школа, 2000. 50. Пул, Ч. Нанотехнологии / Ч. Пул, Ф. Оуэнс. − М.: Техносфера,

2005. – 336 с. 51. Рентгеноструктурный анализ / В.М. Пугачев, В.Г. Додонов. – Ке-

мерово: Кемеровский гос. ун-т, 2008. – 51 с. 52. Родзевич, А.П. Методы контроля и анализа веществ / А.П. Родзе-

вич. – Томск: Изд-во ТПУ, 2008 – 144 с. 53. Родин, В.В. Методы магнитного резонанса / В.В. Родин. – М.:

МФТИ, 2004. 54. Рыжонков, Д. И. Ультрадисперсные системы: получение, свойства,

применение / Д.И. Рыжонков, В.В. Левина, Э.Л. Дзидзигури. – М.: Учеба, 2006. – 182 с.

55. Проблемы и перспективы современной химии высоких давлений / К.Н. Семененко – СОЖ, 2000. – № 5 – С. 58–64.

56. Семенов, Г.А. Масс-спектрометрическое исследование испарения оксидных систем / Г.А.Семенов, В.Л. Столярова. – Л.: Наука, 1990.

57. Сергеев, Г. Б. Нанохимия / Г.Б. Сергеев. − М.: Изд-во МГУ, 2003. − 288 с.

306

58. Ананьев, В.А. Современные спектральные методы анализа матери- алов / В.А. Ананьев, С.И. Баннов, А.С. Башмаков – Кемерово: Ке- меровский гос. ун-т, 2000. – 80 c.

59. Стариковская, С.М. Физические методы исследования. Семинар- ские занятия. 1. Учет погрешностей при обработке результатов из- мерений. – М.: МФТИ, 2003.

60. Стариковская С.М. Физические методы исследования. Семинар- ские занятия. 2. Электрические цепи. Измерение импульсных сиг- налов. – М.: МФТИ, 2004.

61. Стариковская С.М. Физические методы исследования. Семинар- ские занятия. 3. Методы измерения давлений. – М.: МФТИ, 2005.

62. Стариковская С.М. Физические методы исследования. Семинар- ские занятия. 4. Методы измерения температуры. – М.: МФТИ, 2006.

63. Суворов, Э.В Физические основы современных методов исследо- вания реальной структуры кристаллов. / Э.В. Суворов. – Черного- ловка. 1999. – 231 с.

64. Суздалев, И. П. Нанотехнология: физикохимия нанокластеров, наноструктур и наноматериалов / И.П. Суздалев. − М.: Комкнига, 2006. – 592 с.

65. Физические и физико-химические методы анализа / А.Ф. Жуков; Ред. О.М. Петрухин, 2001. – 496 c.

66. Физические методы исследования неорганических веществ / Т. Г. Баличева; ред. А. Б. Никольский, 2006. – 443 с.

67. Фистуль, В.И. Физика и химия твердого тела Т. 1, 2. / В.И. Фи- стуль. – М.: Металлургия. 1995. – 319 с.

68. Фролов, Ю.Г. Курс коллоидной химии. Поверхностные явления и дисперсные системы / Ю.Г. Фролов. − 3-е изд. – М.: Альянс- Пресс, 2004. – 464 с.

69. Ч. Пул, Ф. Оуэнс Нанотехнологии. – Москва: Техносфера / 2004. 70. Чиганова, Г.А. Физикохимия ультрадисперсных материалов /

Г.А. Чиганова, А.И. Лямкин. − Красноярск: ИПЦ КГТУ, 2006. – 100 с.

71. Чижик В.И. Ядерная магнитная релаксация. – СПб.: Изд. С.-Петербургского университета, 2004.

72. Электрофизические методы исследования наноразмерных структур / ГОУ ВПО «Кемеровский государственный университет»; сост. Е.Г. Газенаур, Р.П. Колмыков. – Кемерово, 2008. – 24 с.

73. Ю.Д. Третьяков, В.И. Путляев Введение в химию твердых матери- алов. – Изд-во МГУ: Наука, 2006.

307

СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ .................................................................................................... 3 ГЛАВА 1. ОТБОР И ПОДГОТОВКА ПРОБЫ К АНАЛИЗУ .............. 6

1.1. ОТБОР ПРОБЫ ......................................................................................... 6 1.2. ОТБОР ПРОБЫ ГАЗОВ ............................................................................... 7 1.3. ОТБОР ПРОБ ЖИДКОСТЕЙ ....................................................................... 7 1.4. ОТБОР ПРОБЫ ТВЕРДЫХ ВЕЩЕСТВ .......................................................... 8 1.5. СПОСОБ ОТБОРА ..................................................................................... 9 1.6. ПОТЕРИ ПРИ ПРОБООТБОРЕ И ХРАНЕНИЕ ПРОБЫ .................................. 10 1.7. ПОДГОТОВКА ПРОБЫ К АНАЛИЗУ ......................................................... 11 КОНТРОЛЬНЫЕ ВОПРОСЫ ............................................................................ 12

ГЛАВА 2. СТАТИСТИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА РЕЗУЛЬТАТОВ .... 13 2.1. ПОГРЕШНОСТИ ХИМИЧЕСКОГО АНАЛИЗА. ОБРАБОТКА РЕЗУЛЬТАТОВ ИЗМЕРЕНИЙ.................................................................................................. 13 2.2. СИСТЕМАТИЧЕСКАЯ ОШИБКА .............................................................. 16 2.3. ОЦЕНКА ТОЧНОСТИ И ПРАВИЛЬНОСТИ ИЗМЕРЕНИЙ ПРИ МАЛОМ ЧИСЛЕ ОПРЕДЕЛЕНИЙ ............................................................................................. 18 2.4. ДОВЕРИТЕЛЬНЫЙ ИНТЕРВАЛ И ДОВЕРИТЕЛЬНАЯ ВЕРОЯТНОСТЬ (НАДЕЖНОСТЬ) ............................................................................................ 19 2.5. АНАЛИТИЧЕСКИЙ СИГНАЛ. ИЗМЕРЕНИЕ .............................................. 20 КОНТРОЛЬНЫЕ ВОПРОСЫ ............................................................................ 22 ТЕСТОВЫЕ ВОПРОСЫ К ГЛАВЕ 2 .................................................................. 22