5.3.2. Анодное окисление

Анодное окисление в электролите также широко используется для получения таких оксидов, как Ta₂O₅ и Al₂O₅. Процессом, лимитирующим скорость анодирования, как и в случае термического окисления, является диффузия ионов окислителя через уже образовавшуюся пленку оксидов. Эмпирическое соотношение между плотностью тока анодирования и напряженностью электрического поля описывается уравнением:

, (5.9)

где J – текущая плотность тока анодирования А/см²; J₀ – плотность тока в начале процесса анодирования; В – электрическая константа (постоянная роста); Е – напряженность электрического поля. При этом скорость роста оксида пропорциональна плотности тока, а массу выращенного оксида можно определить по формуле Фарадея.