8.10. Диоксид титана ТiО2

Диоксид титана ТiО₂ является перспективным материалом для создания пленочных конденсаторов благодаря высокому значению ε. Пока что значения пробивных напряжений для них составляют ~40 В, что, вообще говоря, не очень много.

Исходно титановую пленку можно получать катодным распылением, электронно-лучевым распылением или окислением слоя титана до ТiО₂ в кислороде при температурах 700-950°C.

Преимущество диоксида титана (как и Та₂О₅) состоит в том, что на основе этих соединений можно изготавливать как тонкопленочные резисторы, так и конденсаторы с высокостабильными электрическими параметрами, не привлекая другие материалы. Данное обстоятельство является важным технологическим фактором процесса производства ИС и микросборок.