1.6 Зонная очистка
Назначение - металлургическая очистка германия путем многократной перекристаллизации с получением зонноочищенного поликристаллического германия (рисунок 1.9).
Готовая продукция:
корольки восстановления с удельным сопротивлением выше 30 Ом•см;
германий зонноочищенный после предварительной зонной очистки с удельным сопротивлением более 47 Ом•см;
остатки слитков с удельным сопротивлением выше 1 Ом•см;
германий оборотный.
Очистка основана на различной растворимости примесей в твердой и соприкасающейся с ней жидкой фазах.
Процесс зонной очистки осуществляется на многотрубных установках с подвижными индукторами, питаемыми от высокочастотных генераторов и заключается в многократном перемещении узких участков расплавленной зоны вдоль слитка.
При этом, примеси с низким коэффициентом распределения оттесняются к концу слитка. Зонная очистка проводится в атмосфере проточного водорода, который сжигается на выходе из печи. Давление водорода в линии должно быть не менее 0,2 атм.
В случае очистки "голов" зонных слитков, имеющих повышение содержание германия, два прохода проводятся в атмосфере аргона, остальные четыре в атмосфере водорода. Цель такой обработки - ошлакование германия кислородом, содержащимся в аргоне.
Скорость перемещения расплавленной зоны 4-5 мм/мин. Ширина расплавленной зоны на первом проходе до 150 мм, на остальных 80-100 мм. Число проходов на многотрубных печах - пять, в исключительных случаях количество проходов сокращается до четырех или увеличивается до шести.
Германий, в зависимости от вида легирующих примесей, перерабатывается на зонной очистке отдельными потоками с закреплением лодочек за каждым потоком согласно схеме технологических потоков германия на зонной очистке.
- Введение
- 1. Технология процесса получения полупроводникового германия
- 1.1 Технологическая схема процесса и общий принцип получения полупроводникового германия
- получение технического тетрахлорида германия из германиевых концентратов;
- 1.2 Получение технического тетрахлорида германия из германиевых концентратов
- 1.3 Очистка технического тетрахлорида германия
- 1.3.1 Очистка технического тетрахлорида германия дистилляцией
- 1.3.2 Очистка технического тетрахлорида германия экстракцией
- 1.3.3 Очистка технического тетрахлорида германия ректификацией
- 1.4 Гидролиз тетрахлорида германия
- 1.5 Восстановление диоксида германия
- 1.6 Зонная очистка
- 1.7 Выращивание монокристаллов
- 2. Автоматизация процесса дистилляции тетрахлорида германия
- 2.1 Описание куба-испарителя как объекта управления
- 2.2 Выбор и обоснование контролируемых и регулируемых параметров
- 2.3 Выбор и обоснование приборов и средств автоматизации для АСУ ТП дистилляции тетрахлорида германия
- 2.4 Выбор микропроцессорного контроллера для АСУ ТП дистилляции тетрахлорида германия
- 2.5 Выбор ЭВМ для АСУ ТП дистилляции тетрахлорида германия
- 3.5.10.2. Очистка от примесей
- 3.5.10.3. Получение чистого диоксида германия
- Дистилляция.
- Принцип процесса ректификафии
- Простые полупроводники Германий Ge
- Основные условия осуществления ректификации
- Ректификационная очистка тетрахлорида титана технического
- 14.2.3. Германий
- 14.3.2.3. Галогениды германия