11.3.6. Диффузия в поликристаллическом кремнии

Пленки поликристаллического кремния в технологии изго­товления ИС используются главным образом для формирова­ния затворов в самосовмещенных структурах и создания про­водниковых соединений. Диффузия примесей в пленках поли­кремния описывается на основе модели движения атомов по границам зерен. Проникновение примесей при этом происхо­дит в десятки раз быстрее чем в монокристаллическом ма­териале,

Следует отметить, что в каждом отдельном случае резуль­таты диффузии в поликристаллическом кремнии предсказы­ваются с большой вероятностью ошибки, хотя известно, что математически процесс описывается с помощью той же функ­ции ошибок, но с несколько другими входящими под ее знак параметрами .Однако чаше используется классичес­кий закон распределения примесей на основе функции оши­бок с аргументами

Исследования электрофизических свойств поликристалли­ческих слоев, легированных элементами V группы показывают, что процесс диффузии сопровождается сегрегацией этих эле­ментов на межзеренных границах. В целом диффузия приме­сей в поликристаллическом кремнии является нежелательным процессом.