Безтигельная зонная плавка кремния

Обработка кремния похожа на обработку германия, но сопряжена с большими технологическими трудностями, так как температура плавления кремния значительно выше температуры плавления германия и близка к температуре размягчения кварцевого стекла; трубы из такого стекла применяют при операциях зонной плавки и очистки. Кроме того следует помнить, что кремний реагирует с углеродом, а потому зонную плавку его ведут без графитовых лодочек, при вертикально расположенных образцах (рис.10). При зонной плавке нижняя часть образца не отрывается от верхней вследствие большого поверхностного натяжения жидкого кремния.

Рис.4.14. Схема бестигельной зонной плавки у кремния

1-держатель слитка, 2- слиток кремния, 3 – расплавленная зона, 4 передвигающийся виток контура высокочастотного генератора