Технология выращивания монокристаллов германия на ФГУП "Германий"

дипломная работа

2.2 Выбор контролируемых и регулируемых параметров процесса выращивания монокристаллов германия

При выборе контролируемых величин необходимо руководствоваться тем, чтобы при минимальном их числе обеспечивалось наиболее полное представление о процессе. Контролю подлежат, прежде всего, те параметры, текущие значения которых облегчают пуск, наладку и ведение технологического процесса. К таким параметрам относятся все регулируемые величины, нерегулируемые внутренние параметры, входные и выходные параметры, при изменении которых в объект могут поступать возмущающие воздействия.

К регулируемым параметрам относятся такие параметры как:

– температура тигля;

– скорость вращения затравки;

– скорость вращения тигля;

– скорость перемещения затравки;

– скорость перемещения тигля;

Основным показателями качества процесса выращивания является равномерность поверхности слитка, его состав и высота участка слитка до достижения необходимого диаметра. Данная величина зависит от ряда параметров, а именно от температуры тигля, скорости вытягивания и вращения монокристалла. Температура тигля должна быть постоянной, около 936 оС. Отклонение температуры приведет к нарушению структуры слитка. На диаметр слитка влияет скорость перемещения затравки. Чем больше скорость перемещения, тем меньше диаметр слитка. Вращение затравки и тигля так же влияет на диаметр и структуру монокристалла. Перемещение тигля необходимо для поддержания постоянной температуры на границе раздела расплав-слиток. Так как при вытягивании монокристалла расплавленный металл переходит в твердую фазу, его уровень в тигле уменьшается, и граница раздела расплав-слиток перемещается относительно центральной точки печи. Для компенсации этого перемещения и необходимо вертикальное движение тигля.

Делись добром ;)